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반도체 장비 재료
반도체 장비 재료
  • 저자이병철
  • 출판사편집부
  • 출판일2015-06-01
  • 등록일2017-02-16
보유 2, 대출 0, 예약 0, 누적대출 7, 누적예약 0

책소개

본 교재는 NCS 일학습 병행 교육제도에 맞추어 반도체 장비가 소요하는 재료 및 장비를 구성하는 주요 부품의 재질, 물리화학적 특성 등을 기술하고 있다. 교재의 최우선 목표는 재료의 기본적인 물리적, 화학적, 역학적 특성을 파악하는데 두고 있다. 더불어 이런 재료들의 특성을 장비의 구성요소에 응용하여 사용하는 지식을 얻도록 확장하고 있다.

저자소개

<반도체 장비 재료> 저자

목차

제1장 금속의 결정구조와 실리콘 웨이퍼의 물성
제2장 금속 Seal과 O-Ring
제3장 석영(QUARTZ)튜브(Tube)와 보트(Boat)
제4장 Chemical과 Gas
제5장 ESD Chuck
제6장 MASK&RETICLE